氣相沉積薄膜與基體附著(zhù)力劃痕試驗儀

氣相沉積薄膜與基體附著(zhù)力劃痕試驗儀

氣相沉積薄膜與基體附著(zhù)力劃痕試驗儀

根據壓頭上自動(dòng)連續增加的垂直載荷，測定劃透薄膜并使之從其基體上連續剝離所需要的最小載荷， 即薄膜–基體界面附著(zhù)失效的臨界載荷 L C 。

測定 L C 的自動(dòng)劃痕試驗機的結構原理如圖1所示。 該儀器由下列主要部件組成： A—壓頭連續加載電機； B—聲發(fā)射探頭， 探測劃痕產(chǎn)生的聲發(fā)射強度并輸入微機； C—洛氏硬度計標準壓頭； D—試樣臺； E—位移電機， 用以勻速沿水平方向拖動(dòng)試樣臺； F—切向摩擦力傳感器， 連續檢測壓頭與薄膜之間的摩擦力并輸入微機； G—試樣臺高度升降螺桿； H—加載壓力傳感器； I—光學(xué)顯微鏡(≥40×)； J—信號放大器； K—變換控制器； L—微型計算機（嵌入式工業(yè)電腦）， 用以實(shí)施測試自控和自動(dòng)處理數據， 并動(dòng)態(tài)顯示及存貯數據與圖形； M—試樣； N—CRT 顯示器； O—繪圖打印機， 輸出試驗結果； P—壓頭加載機構； Q—主支架。

執行標準：JB/T 8554-1997

技術(shù)參數

控制系統：PLC+Windows系統

操作界面：彩色觸摸屏15寸，嵌入式工業(yè)電腦

樣品尺寸：長(cháng)方體： 長(cháng) 40～50mm， 寬 30～45mm， 高 6～20mm； 或圓柱體 φ (40～45)mm×(6～20)mm；

樣品要求：試樣在溫度(20± 5)℃和相對濕度(50±10)%RH的條件下至少放置 8 h， 然后按規定步驟測試只需很少的測試次數即可評價(jià)劃痕特性；

壓頭規格：按 GB/T 2848 規定的條件選擇金剛石壓頭(頂角 120°， 頂端半徑 R 在 200 μ m± 5 μ m范圍內)， 在不小于 40 倍的顯微鏡下檢測壓頭， 確認其頂端是光滑潔凈的球面， 方可使用。

劃痕速度： (10± 1)mm/min可在觸摸屏任意設置；

加載速率： 對硬質(zhì)薄膜為(20～40)N/min；對非硬質(zhì)薄膜為(5～10)N/min；極限壓力100N;

精度： 0.03 N；

電機：伺服電機86型+驅動(dòng)器;

運動(dòng)模式：絲桿+導軌，精度0.001mm；

光學(xué)顯微鏡：50倍以上鏡片配置；

曲線(xiàn)圖：加載壓力，恒定壓力，摩擦力，垂直載荷關(guān)系圖，XY關(guān)系圖；

測試高度范圍：0-100mm；

測試模式：往復式運動(dòng)，可單線(xiàn)運動(dòng)，工業(yè)電腦觸摸屏上設置；

運動(dòng)范圍：Y距離0-900mm，Y距離0-540mm;

用電：220V,120W,20A,50hz；

外形尺寸約：1000mm*600*640mm；